В России разработают автоматическую установку для химической облаботки кремниевых пластин
Оборудование необходимо для производства микрочипов и полупроводников.
Федеральный Минпромторг направит 1,43 миллиарда рублей на разработку автоматизированной установки жидкостной химической обработки кремниевых пластин диаметром до 200 мм. Это оборудование будет использоваться для производства полупроводников и микрочипов.
Требования министерства изложены в тендере на сайте госзакупок. Установка должна выполнять операции травления, очистки и сушки кремниевых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Ее производительность должна быть не меньше 100 пластин за один цикл.
При этом отмечается, что оборудование должно поддерживать работу не менее, чем с 8 видами реагентов и деонизированной водой. Выбор реагентов будет производиться в автоматизированном режиме.
В условиях особо подчеркивается, что установка должна разрабатываться исключительно на российской компонентной базе. Использование импортных комплектующих допускается только по специальному согласованию с заказчиком.
Аукцион по выбору подрядчика уже состоялся. Но конкретные данные об исполнителе не разглашаются.
